Leybold GmbH
Bühler Leybold Optics Alzenau GmbH
Kroenert GmbH

PylonMet

PylonMet VXL je flexibilní vysoce efektivní naprašovací systém pro pokovení třírozměrných dílů.

Otočné dveře umožňují vysokou produktivitu výroby. Vzorky jsou umisťovány k lehce přístupným pylonům nebo k planetárnímu systému držáků.

Provedení stroje umožňuje nastavení většího množství aplikací. Mimo jiné naprašování magnetronem s IPT (Inter-Pole-Targets) pro rychlé pokovení a reaktivní magnetronové naprašování s IPT nebo rotujícími targety pro depozici metal-nitridových či metal-oxid vrstev.

MF (střední frekvence) PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) zdroj umožňuje depozici transparentních Top Coat a vylepšených wipe-resist vrstev.

Dalšími klíčovými přednostmi je vysoce efektivní vakuový čerpací systém obsahujicí nově vyvynutý výkonný cryo-coil a flexibilní systém pro řízení procesních plynů.

Celý stroj je uložen v lehce presunutelném kovovém rámu.

Vlastnosti PylonMet VXL:

TECHNOLOGIE POVLAKOVÁNÍ

  • DC-magnetron naprašování kovů (Al, Ti, Cu,…) s IPT katodou
  • reaktivní DC-magnetron naprašování s IPT katodou
  • reaktivní magnetronové naprašování s rotujicí katodou
  • MF (40 MHz) PECVD

CHARAKTERISTIKA SYSTÉMU

  • vertikální uspořádání
  • dávkový systém
  • otočné dveře
  • pylonový nebo planetární systém držáků vzorků

KAPACITA VZORKŮ

(DC-Magnetron naprašování hliníku)

  • jeden pylon na várku
  • užitečný průměr pylonu: 750mm
  • užitečná délka pylonu: 1270mm
  • zátížení pylonu: max. 90 kg

TYPICKÁ DOBA CYKLU

hliníková vrstva + top-coat:

  • < 5 min

Přílohy