Leybold GmbH
Bühler Leybold Optics Alzenau GmbH
Kroenert GmbH

DynaMet 4V

DynaMet 4V je plně automatizovaný, vysoce efektivní naprašovací systém pro pokovení třírozměrných dílů. Pro urychlení výroby je vybaven load-lock systémem pro nakládání dílců. Stroj může být integrován do plně automatizovaného dopravníku dílců.

Vzorky z dopravníku jsou postupně naprašovány statickým depozičním procesem.

Hlavními výhodami DynaMetu 4V jsou velice výkonný IPT ( Inter Pole Target ) zdroj magnetronové depozice a PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) zdroj pro depozice ochranných vrstev.

Dalšími klíčovými přednostmi je vysoce efektivní vakuový čerpací systém.

Vlastnosti DynaMet 4V:

TECHNOLOGIE POVLAKOVÁNÍ

  • DC-magnetron naprašování kovů (Al, Ti, Cr,…) s IPT katodou
  • RF (13,56 MHz) PECVD

CHARAKTERISTIKA SYSTÉMU

  • vertikální uspořádání
  • Load-lock rotující systém
  • konfigurace umožňující integraci do plně automatizovaného dopravníku dílců.

KAPACITA VZORKŮ

  • jeden přepravník za cyklus
  • užitečné rozměry přepravníku:
    délka: 840mm
    šířka: 440mm
    hloubka: 250 mm

TYPICKÁ DOBA CYKLU

hliníková vrstva + top-coat:

  • < 35 sekund

DynaMet 4V

Přílohy