Leybold GmbH
Bühler Leybold Optics Alzenau GmbH
Kroenert GmbH

DynaLine

 

DynaLine je plně automatizovaný modulární "pásový" naprašovací systém s nejvyšší produktivitou.

Stroj může být integrován do plně automatizovaného dopravníku dílců a díky modulárnímu provedení může být nakonfigurována přesně podle potřeb zákazníků. Vzorky jsou naloženy na dopravníku a postupně jsou zpracovávány statickým depozičním procesem.

Hlavními výhodami DynaLine jsou velice výkonný IPT ( Inter Pole Target ) zdroj magnetronové depozice pro rychlé naprašování kovových vrstev a MF (střední frekvence) PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) zdroj pro depozice Siloxane ochranných vrstev.

Dalšími klíčovými přednostmi je vysoce efektivní vakuový čerpací systém, robustní dopravník a precizní systém uzavírání vakuových komor.

Vlastnosti DynaLine:

 

TECHNOLOGIE POVLAKOVÁNÍ

  • DC-magnetron naprašování kovů (Al, Ti, Cr,…) s IPT katodou
  • RF (40 MHz) PECVD

CHARAKTERISTIKA SYSTÉMU

  • vertikální uspořádání
  • Load-lock pásový systém
  • konfigurace umožňující integraci do plně automatizovaného dopravníku dílců.
  • flexibilní modulární systém

KAPACITA VZORKŮ

  • jeden přepravník za cyklus
  • užitečné rozměry přepravníku:
    délka: 1200mm
    šířka: 900mm
    hloubka: 250 mm

TYPICKÁ DOBA CYKLU

hliníková vrstva + top-coat:

  • < 1 minuta

DynaLine

Přílohy